第150章 第二代光刻機下線
王銘和陳蕊匆匆趕到光電所的時間已經有點晚,所長開玩笑道,“我還以為你今天不過來了呢!”
王銘嘿嘿一笑,答道,“昨天出了點事情,今天過來晚了點,實在是抱歉。”
所長擺擺手道,“跟你開玩笑呢,走,帶你去看看新傢伙。”
所長帶著他們來到研究所的無塵車間,眾人換好無塵服後,進入裡面,所長指著三臺大型機器說道,“這三臺就是你定製的第二代光刻機,採用你提供的雙工件加工技術,芯片生產效率比老款提高了40%左右。”
“這臺光刻機可以生產0.8-0.35微米的各種製程芯片,良品率和工作效率都大幅提升。特別是在0.35微米芯片的生產上,一代產品良品率只要45%左右,這一代提高到了72%左右;上一代產品的一次性只能裝載30塊原晶,改進之後提高到了50塊。”
“這一代的產品怎麼提升這麼大的?”
“還不是你提供的技術方向給了我們很大的啟發,我們在這一塊接觸式光刻機方面本來就有比較深入的研究,接近式光刻機方面在81年就已經有了成品,在你帶來的技術加持下,有這個成績並不奇怪。”
所長有些好奇問道,“這次一次性訂購了三臺,你能賣得出這麼多芯片嗎?”
“這個你不用擔心,現在我可是好幾條產品線、好幾樣新產品蓄勢待發,就差你這邊的光刻機了!”王銘想起自己那些還停留在技術圖紙上的產品,忍不住追問,“第三代掃描投影式光刻機的研發進展怎麼樣了?”
“第三代掃描投影式光刻機我們這邊也有技術儲備,在85年的時候就已經成功研製出來,只是後面沒有合適的產品應用,一直被束之高閣。”所長不由有點惋惜,“現在有了你這邊的批量化生產的經驗積累和提供的技術方案,在第三代光刻機方面的進展非常順利。”
“那多長時間能夠用上?我估計第二代光刻機用不了兩年就會被淘汰。”他解釋道,“m國那邊的第三代 光刻機現在應該已經進入成熟階段,只是因為成本的問題,一直沒有推廣開來。現在有了我這條過江猛龍,想必最遲1998年就會批量生產第三代光刻機。”