第551章 新光刻機測試(第2頁)

 喬瑞達強打起精神，跟隨幾位院士，來到了那臺橙色塗裝的光刻機面前。一位瑞芯晶圓廠的研究員，將一個裝滿石墨烯晶圓的容器，遞給王院士，說道：“姚院士，測試用的石墨烯晶圓都在這裡了，一共二十片，一片也不少。前面的所有工序都已經完成，現在就看這臺光刻機的表現了。”

 姚院士接過石墨烯晶圓，遲疑了一下，繼而對著王院士說道：“老王，你平常使用光刻機最多，經驗最豐富，要不咱們這臺光刻機，還是由你來操作吧！”

 “好吧，那就讓我來，有我出手，一定馬到成功！”

 王院士接過石墨烯晶圓盒子，頗為

自信的走上操作位。他打開盒子，使用特製夾具，將盒子裡的石墨烯晶圓依次取出，放在光刻機的來料托盤上。然後安裝好林孟松提供的石墨烯內存芯片掩膜板，深吸一口氣，按下開機按鈕。隨著一陣滴滴輕響，指示燈閃爍，設備開始自檢，檢查各個零部件是否安裝到位，檢查光刻生產中使用到的各種物料是否齊備，同時對光源部門，進行預熱。

 光刻機類型不同，使用的光源也大相徑庭，例如duv光刻機使用的光源是193nm的深紫外光源。euv光刻機，使用的光源是波長13.5nm的極紫外光源。而石墨烯光刻機更進一步，使用的是波長6.6nmfel光源，理論上來說，它的極限加工精度，要比euv光刻機小很多。當然，目前瑞達科技公司推出的石墨烯手機芯片和石墨烯筆記本處理器，遠遠沒有達到光刻機的極限加工精度。一個是現有設備不成熟，還達不到理論極限加工精度，在一個是完全沒必要追求那麼極限。相比傳統硅基芯片，石墨烯芯片的性能實在太過厲害，發熱也非常低，即使使用十nm以上的加工工藝，做出來的手機芯片，也甩開硅基手機芯片幾條街。在競爭對手掌握石墨烯芯片生產技術之前，根本不用拿出過於先進的產品。

 幾分鐘後，“嘀——”一聲長鳴，光刻機自檢結束，智能控制程序啟動，兩片石墨烯晶圓先後被光刻機“吞”了進去，在精密機械臂的夾持下，精準的放置於雙工件臺上。而後專用扣具鎖緊晶圓，設備內光華不斷閃爍，光刻流程正式開啟。

 這次加工的石墨烯內存芯片，製程工藝比較低，結構比較簡單，光刻過程幾乎都是一遍過，不需要進行套刻、3d累積之類的複雜操作，所以加工起來速度個外的快，一片石墨烯晶圓的完整光刻流程，也不過是幾個眨眼的時間。所以這20片測試石墨烯晶圓，相當不頂用，僅僅開機工作了幾分鐘，就全部光刻完成。

 林孟松再次走上前，將光刻完成的石墨烯晶圓收起來，放入專用盒子，而後帶著盒子，來到下一道工序設備面前，進行後面的顯影、硬烘、刻蝕、檢測等工序。全部流程走下來，已經是一個小時之後的事情了。進入生產線的時候，是二十片晶瑩剔透的石墨烯晶圓，出來的卻是一小堆黑不溜丟的芯片，擺在眾人面前，只看賣相，確實有些對不起觀眾。

 “這些內存芯片的數量是不是太少了一些，20片晶圓至少可以加工出幾百枚石墨烯內存芯片吧，這裡怎麼才這麼一點？”看到成品只有這麼一小堆，姚院士提出了他的疑惑。

 “在晶圓切割成為晶片之後，使用光學設備，進行了一次初步篩選，將那些存在明顯缺陷的，全部篩了出去。也就是說，能夠走到最後，加工成芯片的，只有面前這些了。”林孟松指著面前這一小堆芯片，說道。

 “這麼說，這些芯片都是合格產品了？”

 林孟松搖了搖頭，說道：“我剛剛不是說了，前面的篩選工序，只是初篩。現在這些芯片，還要送到隔壁實驗室，進行詳細的測試，才能確定芯片的好壞。”

 說罷，林孟松將這堆內存芯片，裝進一個防靜電袋子，拿著送去了隔壁的芯片測試實驗室。接下來又是漫長的等待，直到半個小時後，檢測完成，林孟松拿著一份檢測報告，走進休息室。