第39章 高精度(第2頁)

 實驗室內的氣氛瞬間變得更加緊張，每個人都清楚，這將是一場技術的極限挑戰。

 李思遠負責光學系統的設計：“星圖院士，我們已經準備好開始構建光刻機的光學模型。通過模擬不同光源和光學配置，我們可以優化光刻機的分辨率和聚焦精度。”

 章程中院士專注系統集成：“同時，我們正在設計一套精密的檢測系統，它將能夠即時監測光刻機的運行狀態，包括光源的穩定性、光學系統的對準精度以及機械運動的精度。這將是我們提高光刻機精度的關鍵。”